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當(dāng)前位置:首頁資料下載雙電測(cè)四探針測(cè)試儀/四探針測(cè)試儀 型號(hào):DP/RTS-5

雙電測(cè)四探針測(cè)試儀/四探針測(cè)試儀 型號(hào):DP/RTS-5

發(fā)布時(shí)間:2015/3/31點(diǎn)擊次數(shù):359

雙電測(cè)四探針測(cè)試儀/四探針測(cè)試儀 型號(hào):DP/RTS-5

DP/RTS-5型雙電測(cè)四探針測(cè)試儀采用了四探針雙電測(cè)組合(亦稱雙位組合)測(cè)量新,將范德堡測(cè)量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換,在計(jì)算機(jī)控制下行兩次電測(cè)量,能自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。因而每次測(cè)量不知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測(cè)量都是對(duì)幾何因素的影響行動(dòng)態(tài)的自動(dòng)修正,因此顯著降低了幾何因素影響,從而提了測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確度。所有這些,用目前大量使用的常規(guī)四探針測(cè)量方法所的儀器是無法實(shí)現(xiàn)的。

   DP/ RTS-5型雙電測(cè)四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)是個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶程序,通過此測(cè)試程序輔助使用戶簡便地行各項(xiàng)測(cè)試及獲得測(cè)試數(shù)據(jù)并對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)行統(tǒng)計(jì)分析。
    測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析,然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)行各種數(shù)據(jù)分析
參數(shù):

 測(cè)量范圍

 電阻率:0.001200Ω.cm(可擴(kuò)展);  
 方塊電阻:0.012000Ω/□(可擴(kuò)展)
 電導(dǎo)率:0.0051000 s/cm;
 電阻:0.001200Ω.cm

可測(cè)晶片厚度

 ≤3mm

可測(cè)晶片直徑

 140mmX150mm(S-2A型測(cè)試臺(tái));
 200mmX200mm(S-2B型測(cè)試臺(tái))
 400mmX500mm(S-2C型測(cè)試臺(tái));

恒流源

 電流量程分為0.1mA、1mA10mA、100mA四檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表

 量程及表示形式:000.00199.99mV;    
 分辨力:10μV
 輸入阻抗:>1000MΩ;
 度:±0.1%
 顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;性、量程自動(dòng)顯示;

四探針探頭基本標(biāo)

 間距:1±0.01mm;
 針間緣電阻:≥1000MΩ;
 機(jī)械游移率:≤0.3%
 探針:碳化鎢或速鋼Ф0.5mm;
 探針壓力:516 牛頓(總力)

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)

 (見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差
( JJG508-87)

 0.1Ω、、10Ω100Ω小于等于0.3%±1

整機(jī)測(cè)量zui大相對(duì)誤差

(用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±4%

整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度

 ≤4%

計(jì)算機(jī)通訊接口

 并口

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境

 溫度:23±2;
 相對(duì)濕度:≤65%
 無頻干擾;
 無強(qiáng)光直射;

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